Basic characteristics of a multilayer thin electrostatic actuator supported by lubricating oil for a fine-motion stage
The present paper describes the basic characteristics of a multilayer thin electrostatic actuator supported by lubricating oil rather than precise ball bearings for a fine-motion stage. The purpose of the present research is to realize an easy-to-maintain multilayer thin electrostatic actuator havi...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Elsevier
2012
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.utem.edu.my/id/eprint/6453/1/1st_Journal_PE.pdf http://eprints.utem.edu.my/id/eprint/6453/ |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|