Development of copper based miniature electrostatic actuator using WEDM with low actuation voltage
Fabricating electrostatic micro actuator, such as comb-drive actuator, is one of the demanding areas of the MEMS technology because of the promising applications in modern engineering, such as, micro-switches, attenuators, filters, micro-lenses, optical waveguide couplers, modulation, interfero...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Springer
2014
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://irep.iium.edu.my/39442/1/Electrostatic_Actuator.pdf http://irep.iium.edu.my/39442/ http://www.springer.com/home?SGWID=0-0-1003-0-0&aqId=2757080&download=1&checkval=eaea3bd89f7030f6f651dfde92f99900 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|