Process Development and Optimization of Carbon-Based Thin Film Deposition through Ablation of Graphite

This paper reports the deposition of carbon nanomaterials on silicon substrate using a dense plasma focus device. The film property is studied using a field emission scanning electron microscopy (FESEM) and energy dispersive X-ray (EDX). The first test was deposited using 1, 3, 5, and 7 focus shots...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Low, Andrew Chun Wey, Damideh, Vahid, Saw, S. H., Lim, Chin Seong
التنسيق: مقال
منشور في: Trans Tech Publications 2016
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://eprints.intimal.edu.my/755/
https://www.scientific.net/KEM.701.42
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!