Statistical Optimization Influence on High Permittivity Gate Spacer in 16nm DG-FinFET Device

In this paper, the effect of high permittivity gate spacer on short channel effects (SCEs) for the 16 nm double-gate finFET is investigated, with the output responses optimized using L9 orthogonal array (OA) Taguchi method. The determination is done through Signal-to-noise ratio to the effectiveness...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Roslan A.F., Salehuddin F., Zain A.S.M., Kaharudin K.E., Mohamad N.R., Maheran A.H.A., Haroon H., Razak H.A., Idris S.K., Ahmad I.
مؤلفون آخرون: 57203514087
التنسيق: مقال
منشور في: UiTM Press 2023
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة