Improvement of c-axis (002) AlN crystal plane by temperature assisted HiPIMS technique
Purpose This study aims to investigate the effect of temperature applied at the initial deposition of Aluminium Nitride (AlN) thin-film on a silicon substrate by high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) technique. Design/methodology/approach HiPIMS system was used to deposit AlN thin film at...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| منشور في: |
Emerald
2021
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.um.edu.my/34003/ |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|