Characterization and optimizations of silicide thickness in 45nm pMOS device

The characteristics of high performance 45nm pMOS devices based on International Technology Roadmap for Semiconductor (ITRS) have been studied using ATHENA and ATLAS's simulator. There are four factors were varied for 3 levels to perform 9 experiments. The factors are halo implantation, Source/...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Salehuddin F., Ahmad I., Hamid F.A., Zaharim A.
مؤلفون آخرون: 36239165300
التنسيق: Conference Paper
منشور في: 2023
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!