Modeling, simulation and optimization of 14nm high-K/metal gate NMOS with taguchi method

Analysis of variance (ANOVA); Electron beam lithography; Metals; MOS devices; Oxide semiconductors; Taguchi methods; ATHENA; ATLAS; Electrical characteristic; Electronics technology; International Technology Roadmap for Semiconductors; MOS-FET; Simulation and optimization; Taguchi optimization metho...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Mah S.K., Ahmad I., Ker P.J., Tan K.P., Faizah Z.A.N.
مؤلفون آخرون: 57191706660
التنسيق: Conference Paper
منشور في: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2023
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!