Responsivity optimization of a MQW SOI-based lateral PIN photodiode using Taguchi's L27 orthogonal array
Silicon-on-insulator (SOI)-based lateral PIN photodiodes using SiGe/Si multilayer quantum wells (MQW) are suitable for applications in the near-infrared range both for sensing and optical fiber communication application. The objective of this paper is to optimize the process parameters for such a de...
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | Conference paper |
منشور في: |
2023
|
الموضوعات: | |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!