Coherent effect on LOCOS and STI technique for 0.18 µm CMOS technology using Taurus Workbench
LOCOS (Local Oxidation of Silicon) and STI (Shallow Trench Isolation) are two isolation techniques used in integrated circuit fabrication. Further device scaling using LOCOS technique is no longer practical for technology generations below 0.35 µm. STI technique was thus introduced because of its...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | Learning Object |
اللغة: | English |
منشور في: |
Universiti Malaysia Perlis
2008
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/1955 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|