Reactive Ion Etching (RIE) Etched Wet-Silica-On-Silicon Analysis for Fluid Wettability
RIE etched wet silica-on-silicon analysis is more to surface roughness analysis which analysis on silica substrate after plasma etching especially on de-ionized water droplets testing for fluid wettability scope. The thick oxide is needed for RIE purpose and characterized the etching and surface pr...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Learning Object |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Universiti Malaysia Perlis
2008
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/1333 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|