Komposisi ikatan kimia dan mekanisme pertumbuhan filem nipis a-CNx oleh teknik rf-PECVD suhu rendah
Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) telah dimendapkan menggunakan teknik pemendapan wap kimia secara peningkatan berfrekuensi radio, (radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition, rf-PECVD). Sampel disediakan pada suhu substrat yang berbeza iaitu pada 80, 100,...
保存先:
主要な著者: | Siti Aisyah Abd Aziz,, Rozidawati Awang, |
---|---|
フォーマット: | 論文 |
言語: | English |
出版事項: |
Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia
2020
|
オンライン・アクセス: | http://journalarticle.ukm.my/15484/1/24.pdf http://journalarticle.ukm.my/15484/ http://www.ukm.my/jsm/malay_journals/jilid49bil6_2020/KandunganJilid49Bil6_2020.html |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
著者:: Siti Aisyah Abd Aziz,, 等
出版事項: (2017) -
Characterization of a-CNx Thin Films prepared by RF-PECVD
Technique for humidity sensor
著者:: R. Awang,, 等
出版事項: (2017) -
Highly reflective nc-Si:H/a-CNx:H multilayer films prepared by r.f. PECVD technique
著者:: Ritikos, R., 等
出版事項: (2009) -
Effects of thermal annealing on the properties of highly reflective Nc-Si: H/A-Cnx: H multilayer films prepared by rf PECVD technique
著者:: Rashid, N.M.A., 等
出版事項: (2011) -
Penyediaan dan pencirian filem nipis klorofil
著者:: Syed Hafidz Syed Abd Rahim
出版事項: (2012)