Komposisi ikatan kimia dan mekanisme pertumbuhan filem nipis a-CNx oleh teknik rf-PECVD suhu rendah

Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) telah dimendapkan menggunakan teknik pemendapan wap kimia secara peningkatan berfrekuensi radio, (radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition, rf-PECVD). Sampel disediakan pada suhu substrat yang berbeza iaitu pada 80, 100,...

詳細記述

保存先:
書誌詳細
主要な著者: Siti Aisyah Abd Aziz,, Rozidawati Awang,
フォーマット: 論文
言語:English
出版事項: Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2020
オンライン・アクセス:http://journalarticle.ukm.my/15484/1/24.pdf
http://journalarticle.ukm.my/15484/
http://www.ukm.my/jsm/malay_journals/jilid49bil6_2020/KandunganJilid49Bil6_2020.html
タグ: タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!

類似資料