Integration of IC technology with MEMS: Silicon+ technology for the future

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書誌詳細
主要な著者: Walton, AJ, Stevenson, JTM, Underwood, Ian, Terry, JG, Smith, S, Parkes, William, Dunare, Camelia, Lin, H, Li, Yifan, Henderson, Robert, others
フォーマット: 論文
出版事項: IET 2007
オンライン・アクセス:http://scholars.utp.edu.my/id/eprint/36606/
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