Polysilicon nanogap fabrication using a thermal oxidation process
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フォーマット: | 論文 |
言語: | English |
出版事項: |
Emerald Group Publishing Limited.
2013
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主題: | |
オンライン・アクセス: | http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/25642 |
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