Design of a pressure controller for a thermal evaporation system / Ahmad Suffian Muhammad
This project describes the method of designing a pressure controller for vacuum pressure control system well suit for evaporation and deposition of amorphous silicon thin film. The constant total pressure or pressure not less than I 0·5 torr is required during the conditioning of the vacuum to contr...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2009
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/84628/1/84628.PDF https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/84628/ |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|