Analysis of electromechanical coupling coefficient of surface acoustic wave resonator in ZnO piezoelectric thin film structure
An analysis of the electromechanical coupling coefficient for surface acoustic wave (SAW) devices developed in complementary metal oxide semiconductor (CMOS) is presented in this work. This SAW resonator uses zinc oxide (ZnO) as its piezoelectric thin film. The resonator's interdigitated electr...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
|---|---|
| التنسيق: | Conference or Workshop Item |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
IEEE
2014
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://irep.iium.edu.my/49589/1/49589.pdf http://irep.iium.edu.my/49589/ http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=7056641&tag=1 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!