Piezoelectric characteristics of CMOS compatible AIN SAW resonators
In this work, we predict the surface acoustic wave characteristics by 2D COMSOL finite element modeling. The dispersion of simulated acoustic mode shapes, acoustic phase velocity and coupling coefficient were performed on a CMOS-compatible 1.4 GHz SAW resonator. C-axis oriented Aluminium Nitride (AI...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Conference or Workshop Item |
| اللغة: | English English |
| منشور في: |
2014
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://irep.iium.edu.my/45296/1/45296.pdf http://irep.iium.edu.my/45296/4/45296_Piezoelectric%20characteristics%20of%20CMOS.SCOPUS.pdf http://irep.iium.edu.my/45296/ http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=7067949&tag=1 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!