Cover Image

Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan

Filem nipis a-CNx mempunyai ikatan kimia C-N (sp3), C=N (sp2) dan C≡N (sp1). Ikatan C=N dan C≡N mudah diputuskan oleh serangan hidrogen semasa proses pemendapan filem untuk membentuk ikatan C-H dan N-H. Pembentukan komponen sp2 grafit dalam filem nipis a-CNx yang disebabkan oleh kewujudan atom nitro...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Siti Aisyah Abd Aziz,, Rozidawati Awang,
Format: Article
Language:English
Published: Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2017
Online Access:http://journalarticle.ukm.my/11555/1/34%20Siti%20Aisyah%20Abd%20Aziz.pdf
http://journalarticle.ukm.my/11555/
http://www.ukm.my/jsm/english_journals/vol46num10_2017/contentsVol46num10_2017.html
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id my-ukm.journal.11555
record_format eprints
spelling my-ukm.journal.115552018-04-10T10:11:02Z http://journalarticle.ukm.my/11555/ Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan Siti Aisyah Abd Aziz, Rozidawati Awang, Filem nipis a-CNx mempunyai ikatan kimia C-N (sp3), C=N (sp2) dan C≡N (sp1). Ikatan C=N dan C≡N mudah diputuskan oleh serangan hidrogen semasa proses pemendapan filem untuk membentuk ikatan C-H dan N-H. Pembentukan komponen sp2 grafit dalam filem nipis a-CNx yang disebabkan oleh kewujudan atom nitrogen menyumbang kepada penurunan rintangan elektrik dan peningkatan kekonduksian elektrik. Ciri ini adalah penting untuk aplikasi filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan. Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) disediakan di atas substrat kuartza dan silikon (111) menggunakan teknik PECVD. Sampel disediakan pada kuasa frekuensi radio (RF) yang berbeza iaitu pada 40, 50, 60, 70 dan 80 W dan dikaji kesannya ke atas komposisi ikatan kimia dan morfologi filem serta keupayaannya sebagai pengesan kelembapan. Puncak D (sp2C) dan G (sp3C) yang jelas dicerap menggunakan spektroskopi Raman dalam semua filem nipis a-CNx yang disediakan dengan keamatan tertinggi didapati pada kuasa RF 70 W. Mikrokgraf daripada mikroskop elektron imbasan pancaran medan (FESEM) menunjukkan morfologi permukaan semua sampel mempunyai struktur butiran berbentuk seperti kobis bunga yang seragam. Spektroskopi fotoelektron sinar X (XPS) mengesahkan kehadiran ikatan C-C/C=C, C=N dan C≡N dalam filem nipis a-CNx. Kesemua filem nipis a-CNx yang dihasilkan menunjukkan tindak balas terhadap kelembapan berbeza dengan kepekaan antara 60-70%. Filem nipis a-CNx yang disediakan pada kuasa RF 70 W menunjukkan kepekaan tertinggi kesan daripada ketakteraturan karbon dan kandungan sp3C yang lebih tinggi. Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2017-10 Article PeerReviewed application/pdf en http://journalarticle.ukm.my/11555/1/34%20Siti%20Aisyah%20Abd%20Aziz.pdf Siti Aisyah Abd Aziz, and Rozidawati Awang, (2017) Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan. Sains Malaysiana, 46 (10). pp. 1951-1958. ISSN 0126-6039 http://www.ukm.my/jsm/english_journals/vol46num10_2017/contentsVol46num10_2017.html
institution Universiti Kebangsaan Malaysia
building Perpustakaan Tun Sri Lanang Library
collection Institutional Repository
continent Asia
country Malaysia
content_provider Universiti Kebangsaan Malaysia
content_source UKM Journal Article Repository
url_provider http://journalarticle.ukm.my/
language English
description Filem nipis a-CNx mempunyai ikatan kimia C-N (sp3), C=N (sp2) dan C≡N (sp1). Ikatan C=N dan C≡N mudah diputuskan oleh serangan hidrogen semasa proses pemendapan filem untuk membentuk ikatan C-H dan N-H. Pembentukan komponen sp2 grafit dalam filem nipis a-CNx yang disebabkan oleh kewujudan atom nitrogen menyumbang kepada penurunan rintangan elektrik dan peningkatan kekonduksian elektrik. Ciri ini adalah penting untuk aplikasi filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan. Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) disediakan di atas substrat kuartza dan silikon (111) menggunakan teknik PECVD. Sampel disediakan pada kuasa frekuensi radio (RF) yang berbeza iaitu pada 40, 50, 60, 70 dan 80 W dan dikaji kesannya ke atas komposisi ikatan kimia dan morfologi filem serta keupayaannya sebagai pengesan kelembapan. Puncak D (sp2C) dan G (sp3C) yang jelas dicerap menggunakan spektroskopi Raman dalam semua filem nipis a-CNx yang disediakan dengan keamatan tertinggi didapati pada kuasa RF 70 W. Mikrokgraf daripada mikroskop elektron imbasan pancaran medan (FESEM) menunjukkan morfologi permukaan semua sampel mempunyai struktur butiran berbentuk seperti kobis bunga yang seragam. Spektroskopi fotoelektron sinar X (XPS) mengesahkan kehadiran ikatan C-C/C=C, C=N dan C≡N dalam filem nipis a-CNx. Kesemua filem nipis a-CNx yang dihasilkan menunjukkan tindak balas terhadap kelembapan berbeza dengan kepekaan antara 60-70%. Filem nipis a-CNx yang disediakan pada kuasa RF 70 W menunjukkan kepekaan tertinggi kesan daripada ketakteraturan karbon dan kandungan sp3C yang lebih tinggi.
format Article
author Siti Aisyah Abd Aziz,
Rozidawati Awang,
spellingShingle Siti Aisyah Abd Aziz,
Rozidawati Awang,
Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
author_facet Siti Aisyah Abd Aziz,
Rozidawati Awang,
author_sort Siti Aisyah Abd Aziz,
title Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
title_short Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
title_full Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
title_fullStr Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
title_full_unstemmed Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
title_sort kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-cnx sebagai pengesan kelembapan
publisher Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia
publishDate 2017
url http://journalarticle.ukm.my/11555/1/34%20Siti%20Aisyah%20Abd%20Aziz.pdf
http://journalarticle.ukm.my/11555/
http://www.ukm.my/jsm/english_journals/vol46num10_2017/contentsVol46num10_2017.html
_version_ 1643738534819921920
score 13.211869

Similar Items