Mask design, fabrication and test NMOS transistor
Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyele...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | en en en |
| Published: |
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/ |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| _version_ | 1833418450950684672 |
|---|---|
| author | Sahdan, Mohd Zainizan |
| author_facet | Sahdan, Mohd Zainizan |
| author_sort | Sahdan, Mohd Zainizan |
| building | UTHM Library |
| collection | Institutional Repository |
| content_provider | Universiti Tun Hussein Onn Malaysia |
| content_source | UTHM Institutional Repository |
| continent | Asia |
| country | Malaysia |
| description | Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan
menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang
digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI
untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya
dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada
250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah
direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas
filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan
bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard
photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET
dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai
dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software
digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam
projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan
juga berfungsi seperti yang dikehendaki. |
| format | Thesis |
| id | my.uthm.eprints-7682 |
| institution | Universiti Tun Hussein Onn Malaysia |
| language | en en en |
| publishDate | 2004 |
| record_format | eprints |
| spelling | my.uthm.eprints-76822022-09-12T01:00:18Z http://eprints.uthm.edu.my/7682/ Mask design, fabrication and test NMOS transistor Sahdan, Mohd Zainizan TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki. 2004-10 Thesis NonPeerReviewed text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf Sahdan, Mohd Zainizan (2004) Mask design, fabrication and test NMOS transistor. Masters thesis, Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn. |
| spellingShingle | TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Sahdan, Mohd Zainizan Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title | Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title_full | Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title_fullStr | Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title_full_unstemmed | Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title_short | Mask design, fabrication and test NMOS transistor |
| title_sort | mask design, fabrication and test nmos transistor |
| topic | TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics |
| url | http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/ |
| url_provider | http://eprints.uthm.edu.my/ |