Nanowire formation for single electron transistor using SEM based Electron Beam Lithography (EBL) technique: Positive tone vs negative tone e-beam resist

Link to publisher's homepage at http://www.nsti.org/Nanotech2006/

保存先:
書誌詳細
主要な著者: Mohammad Nuzaihan, Md Nor, Uda, Hashim, Nur Hamidah, Abdul Halim, Bajuri, S. N M
フォーマット: 論文
言語:English
出版事項: Nano Science and Technology Institute 2009
主題:
オンライン・アクセス:http://dspace.unimap.edu.my/xmlui/handle/123456789/6977
タグ: タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!